日本小岛KOFLOC质量流量控制器
产品特色: 通过采用改良型恒定电流温度差检测方式流量传感器,实现快速回应。 通用的常闭型阀门确保了安全 使用电磁执行器保证了高效的可靠性 低差压类型控制适用于燃烧的气体(LP可?。?/span> 另有针对PM2.5设备特制品:流量16.7L/MIN,低压差15Kpa既可,*,高性价比
技术参数: 流量FS(N2换算):10SCCM-20SLPM(3660系列) 30SLPM-100SLPM(3665系列) 气体种类:所有气体(腐蚀性、有毒、特殊气体都可) 传感器类型:热式传感器 阀门类型:电磁比例阀,常闭 控制范围:2%-(3660系列) 5%-(3665系列) 控制速度:2%-,2秒以内 控制精度:±1.0%FS(3660系列) ±1.5%FS(3665系列) 重复性:±0.5%FS 工作差压:满量程FS≤5升/分钟,49-294Kpa 5升/分钟≤满量程FS≤100升/分钟,98-294Kpa 低差压特制:2-149Kpa,根据具体流量来定制 高差压特制:294-784Kpa,根据具体流量来定制 使用温度:0-50℃ 允许湿度:0-90% 泄漏率:≤1x10-8Pa.m3 /sec(不包含He) 产品材质:主体-SUS316 密封圈:Viton 可另?。郝榷∠鸾?,橡胶NBR 管路接头:1/4英寸卡套(3660系列) 3/8英寸卡套(3665系列) 可另?。?/8英寸卡套、1/4英寸VCR、RC1/4英寸、特殊要求可定制 电气接头:D型9针 输入信号:0-5V(模拟信号) 输出信号:0-5V(模拟信号) 供应电源:+15VDC(±5%)100mA;-15VDC(±5%)200mA 产品重量:800g(3660系列)、1000G(3665系列.
电气D型9针连线示意图: 1号针:阀门开关信号(可不接) 2号针:输出信号0-5V 3号针:电源+15VDC 4号针:电源COM 5号针:电源-15VDC( 6号针:输入信号0-5V 7号针:输出信号COM 8号针:输入信号COM 9号针:阀门电压输出 日本小岛KOFLOC质量流量控制器 |